柳钢超纯液氧叩开半导体高端市场

　　近日，广西柳钢新锐气体有限公司（下称“柳钢新锐气体”）自主研发生产的超纯液氧产品，首次成功供应国际知名半导体终端客户并获得高度认可。这一突破标志着柳钢集团正式跻身高端气体产业链，其超纯气体产品已具备满足高精尖产业严苛需求的核心竞争力。
　　作为柳钢气体公司控股子公司，柳钢新锐气体此次供应的超纯液氧纯度达到99.9999%（6N级），采用“深度冷冻+吸附纯化”的组合工艺，将总杂质含量严格控制在1ppm（百万分之一）以下，其中氮、氩、甲烷等关键杂质含量更是低至50ppb（十亿分之五十）以下。这一指标完全契合半导体芯片制造中光刻、等离子体刻蚀等核心工序的要求——在芯片生产中，超纯氧气用于硅片清洗等关键环节，微量杂质可能导致芯片性能下降或报废，因此对纯度的要求远高于普通工业领域。
　　为守住“超纯”品质底线，柳钢新锐气体构建了覆盖生产、运输、监测的全链条质量管控体系。生产环节严格遵循ISO9001质量管理体系，从原料筛选到工艺执行实现全程标准化管控；物流端采用专车定向运输模式，通过专业储运设备避免运输过程中的纯度损耗；智能化监测系统则实时追踪生产参数与产品指标，确保每一批次产品性能稳定一致。这种全流程质控能力，正是其突破半导体行业准入壁垒的关键。
　　此次突破源于柳钢在气体领域的深厚技术积淀。依托柳钢气体公司50余年的气体深冷分离技术积累，柳钢新锐气体长期深耕超纯气体研发，先后攻克超纯液氧稳定提产、大容积包装物超纯净处理等多项技术难题，为产品品质提供了坚实支撑。这一成果也呼应了国内高端气体市场的国产化需求——此前半导体用超纯气体多依赖进口，柳钢等企业的技术突破正加速这一领域的国产替代进程。
　　面向未来，柳钢新锐气体计划进一步提升超纯液氧产能，优化供应链体系，目标覆盖更多半导体、新能源等高端行业客户。从传统钢铁企业延伸至高端气体领域，柳钢的跨界突破不仅拓展了自身产业边界，更彰显了中国制造业向高精尖领域升级的强劲动能。