突破“卡点”！沙钢造出半导体核心材料

　　半导体产业是国之重器，而超高纯材料则是支撑芯片制造的“基石”。
　　历时5年联合攻关、上千次试验，沙钢集团抚顺特钢公司与中国科学院金属研究所成功突破国外技术壁垒，研制出半导体领域用超高纯不锈钢316LVV，并已实现定制化生产，先后为国内10多家半导体设备企业供货。这标志着我国在半导体关键材料领域再下一城，国产替代进程迈出坚实一步。
　　316LVV是在经典316L奥氏体不锈钢基础上，采用双真空熔炼工艺制备的超高纯材料。与普通316L多采用“电弧炉+AOD”精炼的生产路线不同，316LVV通过“真空感应熔炼（VIM）+真空自耗重熔（VAR）”双联真空工艺，赋予材料极致纯净度、卓越耐腐蚀性与优异力学性能。抚顺特钢销售公司开发科相关负责人介绍：“较国外进口同类产品，我们的316LVV产品纯净度及耐腐蚀性都提升了10%以上，交货时间比进口料缩短3个月以上，下游客户使用后非常满意，订单量不断增长。”
　　公开资料显示，长期以来，半导体级316LVV的核心技术与供给被国外企业垄断，成为国内半导体装备产业链的重要“卡点”。过去十余年，国内半导体设备商在整机设计、电源与控制系统上快速追赶，但核心结构材料如316LVV长期依赖进口——采购周期长、价格高，且在贸易波动下面临断供风险。
　　为彻底扭转这一局面，抚顺特钢成立专项科研团队，在辽宁省工信厅推动下与中国科学院金属研究所达成合作，成功研制出达到国外同类产品性能的316LVV超高纯不锈钢，双真空工艺达到6吨级，具备批量生产能力。试制成功后，科研团队迅速将产品送往半导体设备生产企业进行试用验证，并根据结果持续改进。经过一年多的优化，目前抚顺特钢已能够根据客户需求，定制生产适用不同工况的棒材、方材、扁材、异型材等类型的316LVV超高纯不锈钢，产品工艺一致性、质量稳定性达到国际先进水平，产能规模国内领先。
　　在半导体精密制造的纳米级战场上，316LVV超高纯不锈钢或许只是产业链上的一环，但正是千千万万这样的“一环”，构筑起了中国高端制造自主可控的坚实长城。抚顺特钢316LVV的国产化突破，是沙钢集团践行“钢铁报国”初心的生动注脚，不仅打破了国外技术封锁和供应垄断，更从根本上保障了国内半导体产业链的韧性与安全。新征程上，沙钢集团将坚定“六维”发展战略，推动“特钢更特”，进一步加大科技创新力度，积极推进关键材料国产化及先进新材料研发生产，为“中国制造”筑牢材料之基。