历时5年攻关，抚顺特钢与中科院联合研制成功316LWV超高纯不锈钢

　　近日，中国科学院金属研究所与抚顺特殊钢股份有限公司宣布，双方历时5年联合攻关，历经上千次试验，成功研制出半导体领域用超高纯不锈钢316LWV，突破国外技术壁垒，实现定制化生产。
　　目前，抚顺特钢已为国内10多家半导体设备企业供货。产品纯净度及耐腐蚀性较国外进口同类产品提升10%以上，每吨售价降低3万至5万元，交货时间缩短3个月以上，获得下游客户广泛认可，订单量持续增长。
　　316LWV是半导体刻蚀设备腔体、真空管路、阀门等核心部件的关键材料，需兼具极高的耐腐蚀性、超低气体元素含量及优异的力学性能。而半导体刻蚀设备是芯片制造的关键装备之一，其材料纯度直接影响芯片良率。
　　长期以来，该材料由日本、美国等少数企业垄断，高端牌号对华禁运或限量供应，交货周期普遍长达6个月以上，成为制约国内半导体产业链自主可控的关键环节。抚顺特钢相关负责人表示，目前该产品工艺一致性、质量稳定性已达到国际先进水平，产能规模国内领先。
　　抚顺特钢是国内最早的特殊钢企业之一，被誉为中国“特钢摇篮”。公司可生产高温合金、超高强度钢、不锈钢、工模具钢、钛合金等，产品广泛应用于航空航天、国防军工、能源、汽车等领域。截至目前，抚顺特钢在半导体领域不锈钢产品产能已突破每年千吨级别，并计划进一步扩大高端材料产能，以满足国内半导体产业快速增长的需求。